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產(chǎn)品介紹

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3英寸氧化硅片 IC單晶單拋片 SIO2 熱氧化工藝

氧化硅片

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<span style="font-size: 18px; color: rgb(0, 0, 0);">?</span><p><span style="font-size: 18px; color: rgb(0, 0, 0);">熱氧化物表面形成二氧化硅層。在氧化劑的存在下在升高的溫度下，給過(guò)程稱為熱氧化。通常生長(zhǎng)熱氧化層的在水平管式爐中。溫度范圍控制在900到1200攝氏度，使用濕法或者干法的生長(zhǎng)方法。熱氧化物是一種生長(zhǎng)的氧化物層。相對(duì)于CVD法沉積的氧化物層，它具有較高的均勻性和更高的介電強(qiáng)度。這是一個(gè)極好的作為絕緣體的介電層。大多數(shù)硅為基礎(chǔ)的設(shè)備中，熱氧化層都扮演著非常重要的角色，以安撫硅片表面。作為摻雜障礙和表面電介質(zhì)。</span></p><p><span style="font-size: 18px; color: rgb(0, 0, 0);">    應(yīng)用范圍：</span></p><p><span style="font-size: 18px; color: rgb(0, 0, 0);">1，刻蝕率測(cè)定</span></p><p><span style="font-size: 18px; color: rgb(0, 0, 0);">2，金屬打線測(cè)試</span></p><p><span style="font-size: 18px; color: rgb(0, 0, 0);">3，金屬晶圓</span></p><p><span style="font-size: 18px; color: rgb(0, 0, 0);">4，電性絕緣層</span></p><p><img src="http://pro764880.pic48.websiteonline.cn/upload/20200225_114426_050.jpg" width="750" height="750" style=""/></p><p><img src="http://pro764880.pic48.websiteonline.cn/upload/O1CN01SyAdvQ1PGOXluQmoR_!!3383161813.jpg" width="750" height="750" style=""/></p><p><span style="font-size: 18px; color: rgb(0, 0, 0);"></span><br/></p><p><br/></p>

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地址：深圳市龍崗區(qū)坂田街道榮興大廈A座第8層

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